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臺(tái)式光刻機(jī)

簡要描述:臺(tái)式光刻機(jī)參數(shù):1.最大曝光面積:160mm*160mm。⒉.曝光分辨率:1um(膠厚≤0.5um的正膠)。3.對(duì)準(zhǔn)精度:±1um(標(biāo)準(zhǔn)晶圓拋光片)。4.光源強(qiáng)度:35mW/cm2。5.曝光波長:LED光源(進(jìn)口燈珠,壽命>1萬小時(shí))

  • 所在城市:無錫市
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新日期:2024-11-07
  • 訪  問  量:322

詳細(xì)介紹

  臺(tái)式光刻機(jī)參數(shù):
 
  1.最大曝光面積:160mm*160mm
 
 ?、?曝光分辨率:1u m(膠厚≤0.5um的正膠)
 
  3.對(duì)準(zhǔn)精度:± 1um(標(biāo)準(zhǔn)晶圓拋光片)
 
  4.光源強(qiáng)度:35mW/cm2
 
  5.曝光波長:LED光源(進(jìn)口燈珠,壽命>1萬小時(shí))
 
  6.曝光方式:定時(shí)(倒計(jì)時(shí)方式)
 
  7.掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)范圍:X:優(yōu)于±5mm;
 
  8.Y:優(yōu)于±5mm;0:優(yōu)于±6°
 
  9.掩模尺寸:7英寸,樣片規(guī)格:6英寸(晶圓片)
 
  10.數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙
 
  11.掩模樣片分離間隙:6 =O-500um連續(xù)可調(diào)
 
  12.對(duì)準(zhǔn)方式:自動(dòng)對(duì)準(zhǔn),可根據(jù)客戶需求,增加對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的類型,累計(jì)不超過4組
 
  13.自動(dòng)輸片:機(jī)械手自動(dòng)輸片(專用樣片機(jī)械手臂及片叉),含預(yù)對(duì)準(zhǔn)定位功能
 
  14.顯微掃描范圍:Y:± 40mm(數(shù)字設(shè)定)
 
  15.具備正壓氣浮曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能CCD+遠(yuǎn)心鏡頭+顯示器對(duì)準(zhǔn),光學(xué)合像
 
  16.調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
 
  17.雙物鏡可調(diào)距離范圍:30mm-130mm
 
 

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